★ 电子气体：惰性气体、硅族气体、卤化物或卤化物气体、氟碳气体、含硼、磷、砷等原子气体；

★高纯氯气、氨气、氖气、氪气、三氯氢硅、四氟化碳、六氟化硫、锗烷、高纯锗烷、氯化氢、氧化亚氮、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、砷烷、高纯砷烷、磷烷、高纯磷烷、硅烷、二氯二氢硅、高纯三氯化硼、高纯溴化氢、高纯乙硅烷、八氟环丁烷、甲烷、一氧化二氮、电子级正硅酸乙酯、电子级氧化亚氮、六氯乙硅烷和四氯化硅等。

★半导体电子特气：超纯氨、高纯氧化亚氮、正硅酸乙酯、高纯二氧化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯、一氟甲烷、硅烷混合气等；

★制备高纯电子气体纯化技术、电解技术、电解电源、净化技术、高精度分析检测技术、气体洁净充装技术、高纯混合气体配制系统、电子气体输送系统、管道与运输技术等。

惰性气体、硅族气体、卤化物或卤化物气体、含硼、磷、砷等原子的气体，以及氟碳气体；

欢迎参加“2024中国国际电子特种气体展览会”本届展会将于2024年12月18至20日在上海新国际博览中心隆重举行。展会将以“国际化、权威化、专业化”的要求，集中展示电子特种气体、纯化技术、电解技术等，同期将召开多场技术研讨会及活动。邀请国际国内的电子特种气体厂家展示新材料、新技术、新设备，从而帮助业界高层全面了解全球电子特种气体应用的最新趋势，为国内外电子特种气体全行业链的融合与发展搭建交流交易的广阔平台，推动国内电子特种气体的技术升级，帮助促进行业的可持续发展及引导产业发展导向。同时为观众打造电子特种气体产业的一站式采购平台！届时，热忱欢迎国内外的企业及其相关行业人士前来参观与交流、洽谈、采购。